【微機械展】利用mems實現可變波長的通信用激光發光元件亮相

橫河電機開發出可通過mems結構來改變面發光激光器（vcsel）的波長的技術，并在“微機械/mems展”上進行了展板展示。展出元件中，通過金凸塊接合技術層疊了基于磷化銦(inp)的vcsel芯片、以及集成有用于改變波長的mems部件的硅芯片。

此次的元件在硅芯片上形成了帶有凹面鏡的多層反射膜，在該反射膜與vcsel芯片發光部之間設置了間隙。波長由這一間隙的距離決定。由于間隙能夠隨著配備有多層反射膜的靜電致動器發生微小變化，因此可利用這一點來控制波長。應用于光纖通信領域，輸出普通的波長為1.55μm波段的激光時，能夠在50nm的范圍內改變其波長。該技術在實際應用時，在采用波長復用技術的光通信系統中，能夠靈活地避開其它元件正在使用的波長，從而能夠使通信容量得到實質性的擴大.

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