除了mocvd，更多micro led生產設備已導入
今年3月，設備商愛思強宣布康佳已訂購了其mocvd設備，用于助力康佳基于氮化鎵和砷磷材料的mini/micro led的批量生產。
近日，日本半導體設備供應商samco（薩姆肯）也表示，英國廠商micro crystal transfer group及其專業的led和半導體技術團隊采用了samco的icp刻蝕系統和pecvd系統，用于康佳的micro led生產。
samco專注于寬禁帶半導體材料（如碳化硅和氮化鎵）的等離子體工藝技術，其電感耦合等離子體刻蝕和等離子體增強化學氣相沉積系統銷量高，尤其是在臺灣地區的led市場。
目前，samco在臺灣地區led制造市場占有近60%的市場份額，在led制造方面積累了豐富的經驗、知識和能力。
來源：ledinside
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