（30）日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）宣布推出prismo hit3? mocvd設備，主要用于深紫外led量產。
據介紹，中微prismo系列mocvd設備目前已進入全球大多數領先的藍綠光led制造商，此次推出的prismo hit3? 是中微prismo系列mocvd設備的最新產品。該設備是適用于高質量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關鍵設備，反應腔最高溫度可達1400度，具有優異的工藝重復性、均勻性和低缺陷率。該設備同時也為高產量而設計，單爐可生長18片2英寸外延晶片，并可延伸到生長4英寸晶片。
此外，該設備具有新穎的腔體設計，能在高溫環境下生長高質量氮化鋁工藝，并具有業內領先的深紫外led高產出率；同時具備較長的平均免開腔維護間隔時間，進一步延長正常運行時間并提高產能。真空自動化傳輸系統可以抑制顆粒物的產生，并減少缺陷。自動化升降機構可方便維護操作并有效節省維護時間。
中微公司表示，prismo hit3? mocvd設備早期的客戶包括國內領先的深紫外led制造商馬鞍山杰生半導體有限公司，該公司的深紫外led在家用、醫療和科研設備等領域有廣泛應用。
來源：中微半導體設備
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