佳能開發出了采用mems技術制造的氫氣供給裝置，并在2004年11月29日～30日于京都舉行的“powermems 2004”上進行了發表。應用對象為數碼相機等便攜設備上的燃料電池。

氫氣供給裝置的作用是將儲藏罐里高壓保存的氫氣釋放出所需要的量，降到1個大氣壓后供應給燃料電池。其結構與潛水呼吸裝置上使用的氧氣調節閥等一樣、非常普通（佳能）。通過mems技術將外形尺寸縮小到8mm×8mm×1mm。

氫氣供給裝置采用將厚約300μm的硅單晶片進行3層疊加的結構。與氫氣泵等相連的最下層單晶片上帶有開關，氫氣由此進入，并通過中間層單晶片形成的通道進入到最上層單晶片，由最上層單晶片的孔穴供應給燃料電池。先對最上層單晶片進行加工，再與中間層單晶片進行層疊加工，最后與最下層單晶片層疊加工。

最下層硅單晶片上安裝的氫氣導入開關直徑250μm。通過開閉這個開關來調整氫氣供應量。在發布時只公布了使用氮氣能正常工作的結果，但據說用氫氣進行試驗時也得到了同樣結果。

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