日本精工日前成功開發出了在真空和氣霧等特殊環境下仍可完成旋轉定位的“特殊環境用直接驅動馬達”。在結構上采用將直接驅動馬達裝配在很少產生灰塵和氣體的軸承上的方式。該馬達配備了可通過檢測轉子位置進行高精度旋轉定位的裝置。

在普通氣霧方面，配置馬達定子和旋轉位置檢測器；在特殊環境方面，則隔著一層薄壁配置旋轉的轉子部分。因為即使沒有傳動裝置，也能在不同的環境之間直接傳導動力，所以能夠高速地進行高精度定位。在設計上，采用了使引發氣體產生的馬達定子和電線等均不暴露在特殊環境中的方式。

除能夠對位于同軸上的2個軸分別獨立地進行轉動和定位外，還能夠使之同步運行。尺寸方面，外徑為270mm，高為100mm。最大扭矩為12nm，旋轉位置檢測器分解能為每轉200萬脈沖以上，具有最高速度為1.0轉/秒的性能。

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