日本小金井公司日前更新了流體控制用氟類樹脂設備的產品線,推出了“pure process系列”產品。此次共推出了“氟類樹脂閥門”、“氟類脂h系列接頭”和“氟類樹脂管材”3個系列。主要面向需要處理純水和高純度藥液的半導體、液晶生產線。
閥門方面,除增加了適用于小流量調整的型號外,還推出了適合具體配管規格和閥門功能的產品,種類更為齊全。作為選配項,用戶還可選擇旁路(bypass)流量控制功能。
h系列接頭由主體和管接頭螺母組成。特點是體積小、結構簡單。接頭的主體外側成錐形,將管道插入后擰緊螺絲即可安裝完成。該方式的好處是不必考慮管道內徑。與袖套(sleeve)方式不同,該產品無需使用專用的輔助工具,所以易于使用、管理和維護。
管材系列采用高純度pfa(tetra fluoro ethylene-perfluoro alkylvinyl ether copolymer),減小了在藥液影響下析出的氟離子和金屬離子。另外,通過提高耐侯性,延長了使用壽命。該產品黏著性低、絕緣性能高。可最高在200~260℃的溫度范圍下使用。
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