因應(yīng)液晶面板不斷朝大型化發(fā)展，生產(chǎn)面板所需的靶材尺寸也同步成長，臺灣地區(qū)近期已開發(fā)出首臺大尺寸靶材檢測設(shè)備。

工程師廖世銘強(qiáng)調(diào)，此次開發(fā)完成的大型靶材檢測機(jī)，其檢測掃瞄范圍高達(dá)二千平方毫米，如要向日立（hitachi）等知名日商采購，每臺單價(jià)可能達(dá)七百萬元之譜，但金屬中心所研發(fā)出的新機(jī)，不僅檢測精度不輸日貨，檢測速度還提高一倍，且價(jià)格可較日貨便宜三成以上。

臺灣地區(qū)面板大廠相繼投入五、六代線大尺寸面板領(lǐng)域，其所需靶材尺寸也將隨著趨向大型化，為了檢測大尺寸靶材的接合質(zhì)量，大尺寸靶材超音波掃描檢測設(shè)備更形重要。

金屬中心繼兩年前首度建立可檢測四百毫米乘六百毫米面積的靶材檢測自主技術(shù)能力后，最近更進(jìn)一步開發(fā)出本土首臺大尺寸c scan靶材接合檢測系統(tǒng)，其掃描速度每秒最高可達(dá)五百毫米，檢測精度可達(dá)○．五毫米，并可立即對掃描后的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。

該檢測系統(tǒng)為金屬中心自行研發(fā)操作軟件并進(jìn)行系統(tǒng)整合，在維護(hù)和功能擴(kuò)充性方面，可隨時(shí)配合廠商需求進(jìn)行調(diào)整，極為方便。

廖世銘說，包括光記錄媒體、平面顯示器、半導(dǎo)體等相關(guān)產(chǎn)業(yè)均需使用大量靶材，使得靶材應(yīng)用市場急速擴(kuò)大，而隨著面板產(chǎn)業(yè)在臺灣地區(qū)的茁壯，臺灣地區(qū)正邁向全世界薄膜濺鍍靶材最大消費(fèi)區(qū)域。

而就光盤蒸鍍用靶材、tft－ lcd蒸鍍用靶材、彩色濾光板蒸鍍用靶材而言，臺灣地區(qū)使用量保守估計(jì)達(dá)五十億元以上，需求量極為可觀，由于靶材未來將朝多樣化及大型化發(fā)展，檢測設(shè)備所需的軟硬件功能，預(yù)料客制化程度會(huì)愈來愈高。

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