意法半導體(stmicroelectronics)在2006年10月3日于日本幕張messe會展中心開幕的“ceatec japan 2006”上,展出了封裝尺寸為3mm×3mm×1mm的小型壓力傳感器。通過在結構上下功夫,提高了耐壓性能。具體來說,就是將作為傳感器元件的薄膜與其后部的主體間隔縮小到了2μm。即使向傳感器元件施加很大壓力,薄膜也不會產生2μm以上的變形,因此薄膜本身不易損壞。
設想用途包括嵌入手機與手表等產品的氣壓計、高度計、gps裝置、血壓計、空調和除塵器的氣體控制等用途。測定范圍為0.3~4個大氣壓。靈敏度為70mw/氣壓,在測定范圍內非線性為-0.5%。
為了進行演示,此次準備了內部裝有傳感器的注射器。推拉注射器的活塞,氣壓的時間變化圖和注射器的動態圖像就會顯示電腦顯示器上。
該公司提供的壓力傳感器共有3種。“lps004c”以裸芯片方式供貨,芯片尺寸為1mm×1mm× 0.3mm。“lps004cl”在h-lga封裝中只封裝了傳感器,外形尺寸為3mm×3mm×1mm。這2種產品現已開始供應樣品,定于2007年初投入量產。最后一種是采用數字輸出方式的“lps004dl”,除傳感器外還配備了放大器及數字接口電路等asic。外形尺寸為5mm×5mm×1mm。定于2007年第2季度開始供應樣品。
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