三菱電機開發出了可高速加工小徑孔的放電加工機“超高精度微細孔放電加工機（vh10＋fh電源）”，2006年12月1日上市。該設備在現有放電加工機上配備了新電源，提高了加工速度。

所配電源為以水為加工液的fh電源。將直徑0.15mm以下的微細孔的加工速度提高到了現有發電加工機的1.5～2倍。比如，在厚0.8mm的鋼板上鉆直徑為0.08mm的微細孔時，新放電加工機的加工時間約為25秒。而現有放電加工機則需要40～50秒。新放電加工機的加工精度為±2μm，高于目前的±4μm。

設想用于加工電子部件和光學部件的微細模具部件以及在汽車和飛機部件上鉆微細孔。

各軸的移動量為x軸350×y軸250×z軸350mm。加工槽的尺寸為x軸530×y軸525×z軸220mm?？杉庸さ淖畲蠊ぜ叽鐬?00×495×115mm，可加工最大工件重量為100kg。支持的電極直徑為0.03～0.12mm。

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