近日，從我國首條非硅微機電中試生產線的誕生地——中國兵器工業集團山西北方惠豐機電有限公司傳來喜訊，在該公司和西安機電信息研究所、北京理工大學、上海交通大學等院所的強強聯合下，經過了廣大科技人員歷時3個多月的工藝開發，試制工作取得了階段性突破，通過采用非納米技術和國際尖端的三維半導體微細加工工藝，生產出了產品樣品，填補了國內空白。
微機電系統是微米大小的機械系統，包括不同形狀的三維平板印刷產生的系統，屬于國內領先、國際一流的高新技術項目。非硅微機電中試生產線為國家專項投資，于2006年奠基，2007年竣工。
據悉，此次生產試制出的樣品與原部件相比體積縮小了七分之一，尺寸和精度均達到了設計要求，替代了傳統的機械部件，創新了設計思路和加工方法，實現了工藝創新的新跨越、新突破。同時，該項技術還可拓展到產品制造、汽車安全、生物醫學等領域的高端制造，市場前景和經濟效益十分看好，是公司走出“紅海”、超越“藍海”、駛向“深海”的創新實踐。（李紅兵 鞏育強）
來源:中國兵器
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