中國(guó)精密機(jī)械之王：一臺(tái)設(shè)備賣到4000萬(wàn)，目前在國(guó)內(nèi)沒(méi)有任何對(duì)手

2018-10-15 12:21來(lái)源:牛人牛話//

原標(biāo)題：中國(guó)精密機(jī)械之王：一臺(tái)設(shè)備賣到4000萬(wàn)，目前在國(guó)內(nèi)沒(méi)有任何對(duì)手

隨著ai芯片、5g芯片、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等下游的興起，目前國(guó)內(nèi)正在大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，而核心設(shè)備光刻機(jī)被譽(yù)為工業(yè)皇冠上的明珠，其主要核心供應(yīng)商為荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商asml holding nv（asml），它幾乎壟斷了全球高端光刻機(jī)市場(chǎng)，euv光刻機(jī)中更是全球獨(dú)有，7納米及以后的工藝都要依賴euv光刻機(jī)，而且設(shè)備價(jià)格高昂，單臺(tái)設(shè)備超過(guò)1億美元（約合6.9億元人民幣），而且是有價(jià)無(wú)貨。。

就連半導(dǎo)體巨頭英特爾在前些年，追加大連ic產(chǎn)線，購(gòu)買了荷蘭asml的光刻機(jī)，為保障這批設(shè)備的運(yùn)輸，動(dòng)用了6架包機(jī)，貨運(yùn)公司調(diào)用了6臺(tái)減震車和數(shù)控溫床，操作時(shí)都要小心翼翼像，可見(jiàn)芯片巨頭對(duì)于它的重視程度。

一顆芯片看似尋常，實(shí)際上里面集成著數(shù)不清的電路，在小小的芯片上要讓電路紋絲不亂，需要極度精準(zhǔn)的光刻機(jī)。截止目前全球僅有少數(shù)幾家設(shè)備廠商掌握光刻機(jī)技術(shù)，如asml、佳能、尼康、suss、abm、inc等，其中asml在全球晶圓廠光刻機(jī)設(shè)備的市場(chǎng)份額高達(dá)8成，國(guó)產(chǎn)化勢(shì)在必行。

有數(shù)據(jù)顯示：從設(shè)備需求端測(cè)算，2018-2020年國(guó)產(chǎn)晶圓制造設(shè)備市場(chǎng)空間增速分別為54%，78%和97%，2018-2020年累計(jì)市場(chǎng)空間達(dá)250億元。

國(guó)內(nèi)有一家企業(yè)將打破這一格局，這家企業(yè)就是華卓精科，它是清華大學(xué)機(jī)械工程系長(zhǎng)聘教授、博士生導(dǎo)師，機(jī)械電子工程研究所所長(zhǎng)朱煜教授所創(chuàng)立，并于四年前年聯(lián)合清華大學(xué)成功推出了中國(guó)第一臺(tái)滿足65納米光刻機(jī)需求的雙工件臺(tái)樣機(jī)，現(xiàn)在正在向28納米制程的浸沒(méi)式光刻機(jī)雙工件臺(tái)，發(fā)起了沖刺。

“我就是一個(gè)陀螺，一旦停下來(lái)就會(huì)倒下。不停，就可以一直高速旋轉(zhuǎn)。”朱煜這么形容自己的狀態(tài)。

這家公司成立以來(lái)，一直專注于集成電路裝備技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，是集成電路制造前端光刻機(jī)的重要部件生產(chǎn)商，旗下雙工件臺(tái)的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，目前處于全球領(lǐng)先地位。是除半導(dǎo)體設(shè)備制造商荷蘭asml以外全球第二家可以生產(chǎn)光刻機(jī)雙工件臺(tái)的企業(yè)。他們的核心戰(zhàn)略產(chǎn)品是光刻機(jī)雙工件臺(tái)；其他整機(jī)設(shè)備包括激光退火、硅片堆疊、掃描干涉光刻機(jī)；零部件有運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、efem、靜電卡盤、隔振器等。前兩年，華卓精科與上海微電子裝備(集團(tuán))有限公司簽訂了3臺(tái)干式雙工件臺(tái)產(chǎn)品供貨合同，總價(jià)值1.2億元，平均下來(lái)每臺(tái)售價(jià)超過(guò)4000萬(wàn)元。

目前，光刻機(jī)雙工件臺(tái)作主要為光刻機(jī)的兩大核心子系統(tǒng)，使運(yùn)動(dòng)誤差保持在2納米之內(nèi)，也就是人頭發(fā)絲直徑的四萬(wàn)分之一，精細(xì)難度非常之大。再打個(gè)形象的比喻，兩架時(shí)速1000公里/小時(shí)的飛機(jī)在任意時(shí)刻的飛行位置偏差不超過(guò)一個(gè)微米。如此極端、精細(xì)的性能指標(biāo)，使光刻機(jī)雙工件臺(tái)成為當(dāng)之無(wú)愧的“精密機(jī)械之王”，其制造工藝難度可想而知，目前他們這家企業(yè)在國(guó)內(nèi)沒(méi)有任何對(duì)手。

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