為貫徹落實(shí)黨中央、國(guó)務(wù)院關(guān)于促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研融合的一系列重要決策部署，根據(jù)《中國(guó)科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)事業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃（2021-2025年）》《“科創(chuàng)中國(guó)”三年行動(dòng)計(jì)劃（2021-2023年）》等，按照“科創(chuàng)中國(guó)”建設(shè)“求實(shí)效、植內(nèi)涵、提質(zhì)量、筑生態(tài)”的總體要求，面向全國(guó)組織開(kāi)展認(rèn)定首批“科創(chuàng)中國(guó)”創(chuàng)新基地工作。

近日，根據(jù)《“科創(chuàng)中國(guó)”創(chuàng)新基地建設(shè)實(shí)施與管理辦法（試行）》（科協(xié)辦函創(chuàng)字〔2022〕57號(hào)）《中國(guó)科協(xié)辦公廳關(guān)于推薦首批“科創(chuàng)中國(guó)”創(chuàng)新基地的通知》（科協(xié)辦函創(chuàng)字〔2022〕60號(hào)）要求，經(jīng)評(píng)審和公示，194家單位入選首批“科創(chuàng)中國(guó)”創(chuàng)新基地。獲得認(rèn)定的創(chuàng)新基地進(jìn)入建設(shè)階段，建設(shè)周期為2022年至2024年?！笨苿?chuàng)中國(guó)“刊發(fā)首批入選基地簡(jiǎn)介，展示基地風(fēng)采。

瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體芯片檢測(cè)領(lǐng)域，政產(chǎn)學(xué)研協(xié)同發(fā)展

西安交通大學(xué)是國(guó)家教育部直屬綜合研究型重點(diǎn)大學(xué)，首批進(jìn)入國(guó)家“211”和“985”工程，是“七五”“八五”重點(diǎn)建設(shè)單位。西安交通大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體芯片檢測(cè)領(lǐng)域，依托學(xué)科與人才培養(yǎng)優(yōu)勢(shì)，創(chuàng)新產(chǎn)學(xué)研合作模式，建立半導(dǎo)體芯片檢測(cè)基地，著力解決半導(dǎo)體芯片檢測(cè)領(lǐng)域的關(guān)鍵核心技術(shù)難題，充分發(fā)揮科技對(duì)區(qū)域經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的支撐作用。

推進(jìn)建立產(chǎn)學(xué)研協(xié)同機(jī)制，開(kāi)展企業(yè)深度合作

半導(dǎo)體芯片檢測(cè)技術(shù)創(chuàng)新基地（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“創(chuàng)新基地”）通過(guò)國(guó)家技術(shù)轉(zhuǎn)移中心等與芯片和制造領(lǐng)域的企業(yè)開(kāi)展產(chǎn)學(xué)研深度合作。研究團(tuán)隊(duì)完成了國(guó)家和省部級(jí)重大重點(diǎn)項(xiàng)目等20多項(xiàng)，獲得科技獎(jiǎng)近10項(xiàng)，授權(quán)國(guó)內(nèi)外相關(guān)發(fā)明專(zhuān)利60多項(xiàng)。在研究過(guò)程中緊密結(jié)合企業(yè)實(shí)際需求，積極推動(dòng)科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。同時(shí)，面向國(guó)家重點(diǎn)發(fā)展以及關(guān)鍵“卡脖子”領(lǐng)域，與相關(guān)企業(yè)合作建立育人基地并開(kāi)展長(zhǎng)期科研合作，推進(jìn)技術(shù)成果在半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域進(jìn)行應(yīng)用，促進(jìn)企業(yè)與高校科研領(lǐng)域協(xié)同發(fā)展。所提出的“如何解決三維半導(dǎo)體芯片中納米結(jié)構(gòu)測(cè)量難題？”入選中國(guó)科協(xié)2021十大工程技術(shù)難題，并組織相關(guān)領(lǐng)域?qū)＜疫M(jìn)行了成果鑒定和評(píng)審，形成了行業(yè)發(fā)展報(bào)告，為制定政策法規(guī)、發(fā)展規(guī)劃、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供了重要依據(jù)。負(fù)責(zé)完成的“大長(zhǎng)徑比納米探針可控制備技術(shù)及應(yīng)用”入選了2020年中國(guó)科協(xié)首屆“科創(chuàng)中國(guó)”先導(dǎo)技術(shù)榜單。創(chuàng)新基地面向國(guó)家重大需求，通過(guò)與企業(yè)開(kāi)展深度合作，逐步建立了半導(dǎo)體芯片檢測(cè)協(xié)同發(fā)展平臺(tái)。

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問(wèn)題導(dǎo)向型研究路徑推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新并走向生產(chǎn)實(shí)踐

針對(duì)半導(dǎo)體芯片檢測(cè)領(lǐng)域的發(fā)展需求，創(chuàng)新基地已經(jīng)孵化了西安明創(chuàng)中測(cè)科技有限公司。瞄準(zhǔn)當(dāng)下半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域的需求，在pcb、led芯片、半導(dǎo)體芯片結(jié)構(gòu)尺寸測(cè)量和缺陷檢測(cè)、精密零件外觀缺陷檢測(cè)以及特征尺寸在線(xiàn)測(cè)量等方面培養(yǎng)一系列專(zhuān)業(yè)人才，積累了豐富的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。已經(jīng)開(kāi)發(fā)了用于新一代平板顯示器oled關(guān)鍵尺寸測(cè)量裝備、半導(dǎo)體芯片結(jié)構(gòu)尺寸測(cè)量裝備和缺陷檢測(cè)裝備、用于精密零部件外觀缺陷和特征尺寸在線(xiàn)檢測(cè)系列設(shè)備等。

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產(chǎn)學(xué)研相互融合促進(jìn)建設(shè)產(chǎn)業(yè)技術(shù)平臺(tái)

西安交通大學(xué)楊樹(shù)明教授牽頭承擔(dān)創(chuàng)新基地的建設(shè)工作，華中科技大學(xué)、南開(kāi)大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所等參加并提供技術(shù)支撐，共同建設(shè)創(chuàng)新基地并形成示范。在當(dāng)?shù)貏?chuàng)新驅(qū)動(dòng)政策支持下，解決人才、場(chǎng)地、資金問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)人才驅(qū)動(dòng)創(chuàng)新、創(chuàng)新推進(jìn)生產(chǎn)的良性循環(huán)，形成從測(cè)量理論、關(guān)鍵技術(shù)、高端裝備到工程應(yīng)用的系列成果，推動(dòng)半導(dǎo)體芯片檢測(cè)領(lǐng)域持續(xù)發(fā)展。

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