芯明天p15系列xyz壓電納米定位臺是用于超分辨率顯微鏡應用的多軸定位臺，通過閉環控制，可以實現亞納米級的高精度運動，在xyz平面上的行程范圍可達300微米。

p15內部采用有限元分析（fea）優化的線切割撓曲鉸鏈結構。fea使其設計具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動最小化。閉環版本采用高精度的傳感反饋，與e70系列閉環控制器配套使用，具有非常高的穩定性。臺體中心66×66mm大通孔，非常適合顯微成像、微操作等應用。

特點

· xyz三維運動

· 行程范圍：300μm／軸

· 無摩擦、高精度撓性導向系統

· 掃描平整度高

· 通孔尺寸：66×66mm

· 閉環階躍時間：60ms

· 閉環分辨率：13nm

· 承載能力：0．5kg

帶載階躍時間

閉環上升曲線，滿行程階躍時間60ms。

閉環壓電控制器

e70．d3s壓電控制器采用專用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過優化傳感伺服模塊從而提高了pi調節與控制的精準度與穩定性，可靠的抗干擾設計保證了控制器的高頻響應速度。

技術參數

功能：數字與模擬集成式控制器

通道數：3

模擬輸入：0～10v

輸出電壓：0～120／150v

平均電流：70ma

帶寬：10khz

傳感器類型：sgs

伺服特性：p．i＋低通＋陷波

通信接口：rs－232／422、usb

工作溫度： 0～50℃

尺 寸：168．5×134×45．5mm

重 量：1．2kg

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