日本精工開(kāi)發(fā)出面向半導(dǎo)體晶圓搬送機(jī)器人的軸承——“真空無(wú)塵環(huán)境用高清潔度軸承”，并將于2006年4月上市角接觸球軸承、四點(diǎn)接觸球軸承和向心球軸承3種產(chǎn)品。該公司2004年上市了“真空無(wú)塵環(huán)境用n系列薄壁軸承”，與此前產(chǎn)品相比該產(chǎn)品的脫氣和微塵較少，而且潤(rùn)滑油的耐久性也較高，此次的產(chǎn)品進(jìn)一步降低了脫氣，提高了耐久性能。

作為發(fā)生脫氣的原因，首先就是使用有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗時(shí)殘留在軸承表面的油污，以及殘留在封裝上的潤(rùn)滑材料等有機(jī)物。其次，潤(rùn)滑劑也會(huì)產(chǎn)生脫氣。

新產(chǎn)品則采取了如下對(duì)策：（1）采用溶解力強(qiáng)的超純水進(jìn)行精密清洗；（2）開(kāi)發(fā)出了新型封裝；（3）觸球軌道面采用了處理低蒸汽壓碳?xì)浠衔镉蜔颇さ摹癳-dfo”。這樣一來(lái)，將附著在軸承上的殘留有機(jī)物減少到了此前的大約1/5，同時(shí)將脫氣減至此前1/5，耐久性能提高至此前5倍。

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