近期，中科院微電子所硅光子平臺器件完成了平臺工藝設計工具包（pdk）與國際主流光子集成設計軟件phoenix software和luceda photonics ipkiss的集成，標志著微電子所建成國際一流的硅光子平臺。

硅光子技術是利用成熟的cmos平臺和技術，采用硅基材料進行光電器件和芯片的開發與生產。該技術是后摩爾時代微電子跨領域發展的方向之一，也是光電子走向大規模集成的必然途徑。硅光子不僅在現階段的光通信、光互連領域有迫切的應用需求，在未來的芯片內光互連和光計算機上都有重要的應用前景。

微電子所硅光子平臺基于微電子所先導中心成熟的8英寸cmos工藝線，與中國電科38所、中科院半導體所、武漢郵電科學院合作進行開發。通過硅光子器件庫的設計、流片、測試、優化迭代，開發了成套硅光子制造工藝庫和器件庫，定義了平臺設計規則與圖層，形成了初版pdk內容。自2017年5月發布以來，平臺已承接國內30多家單位的mpw流片及定制流片，器件測試結果達到國際先進水平，得到了業內人士的高度評價。為了進一步提高平臺能力和規范服務流程，平臺近期與國際知名光子集成設計軟件商phoenix software合作，將pdk內容與其設計軟件進行集成，開發了phoenix software下的imecas軟件包。內嵌在optodesigner的imecas pdk除支持最基本的器件連接外，還支持版圖和仿真集成的設計環境、包括manhattan型在內的多種智能布線、實時設計規則檢查、以及不依賴于具體工藝平臺的設計方法，可將基于其他平臺的設計高效轉移至微電子所硅光子平臺。

與此同時，由平臺合作開發伙伴中國電科38所主導開發了luceda photonics ipkiss下的imecas軟件包，包含了設計手冊、drc腳本、器件庫等。其中器件庫以compact model形式提供，包含器件layout，以及基于測試數據的s-matrix模型，可利用ipkiss軟件提供的caphe引擎完成光子鏈路仿真。

基于上述技術集成，微電子所硅光子平臺將為客戶提供更為便捷、靈活的產品設計方案，大大提高設計效率，有利于客戶的產品更快地投入到市場。

背景介紹：

phoenix software公司始創于1991年，作為光電設計自動化先鋒，其業務覆蓋全球35個國家和地區，為全球主要晶圓廠如imec、cea-leti、vtt、inphotec、smart photoncs、hhi、lionix、ligentec、美國sandia、aim和towerjazz等提供內嵌在optodesigner軟件中的 pdk。

luceda是國際知名的硅光子設計軟件工具提供商，主要提供硅光子和大規模集成光學軟件的專業工具，為用戶提供端到端的解決方案，是imec、ime、ihp、ligentec、smartphotonics等光子集成供應商重要的合作伙伴。

圖1 optodesigner中實現的90度混合耦合器版圖設計

圖2 compact model器件庫同時為版圖設計和鏈路仿真提供便利

以上是網絡信息轉載，信息真實性自行斟酌。